半导体电子滤芯 电子级浆料过滤

半导体电子滤芯｜电子级浆料过滤核心定位：在保留浆料有效纳米磨料/功能颗粒前提下，只滤除团聚大颗粒、凝胶、外来杂质，控制 LPC（大颗粒），减少晶圆划痕、斑点、良率损失；同时滤芯本身低析出、不掉屑、低金属离子，满足 SEMI 电子级规范。 主流浆料场景分两大类：CMP 抛光浆料（二氧化硅/氧化铈/氧化铝）、光刻胶/光敏浆料、还有 MLCC、银浆、介质浆料等电子功能浆料，选型差异很大。一、两大主流浆料工艺要点1）CMP 抛光浆料（最成熟）目标：截留团聚体、外来粗颗粒，不能截留正常纳米磨料，否则浆料配方失效、抛光速率漂...